Biegevorrichtung für homogenen und reibungslosen Betrieb einer Verdampfungsquelle

EP 60 2009 009 649.4 – C23C 14/54. AT 03.07.2009; OT 05.01.2011; PT 12.09.2012. Anm.: Applied Materials, Inc., Santa Clara, US. Erf.: Keim, Karl-Albert, 63654 Buedingen, DE, Klemm, Guenter, 63667 Nidda, DE, Hein, Stefan, 63825 Blankenbach, DE, Bruch, Juergen, 61130 Nidderau, DE, Keller, Stefan, 63814 Mainaschaff, DE.