Substrathaltevorrichtung, Poliervorrichtung und Polierverfahren

EP 60 2007 027 705.1 – B24B 37/04. AT 30.03.2007; OT 22.01.2009; PT 26.12.2012. Anm.: Ebara Corporation, Tokio/Tokyo, JP. Erf.: Fukushima, Makoto, Tokyo, JP, Saito, Kenichiro, Tokyo, JP, Inoue, Tomoshi, Tokyo, JP, Togawa, Tetsuji, Tokyo, JP, Nabeya, Osamu, Tokyo, JP, Yasuda, Hozumi, Tokyo, JP.