Bedampfungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Dünnfilmvorrichtung

WP 60 2009 010 887.5 – C23C 14/48. AT 16.06.2009, OT 07.01.2010; PT 31.10.2012. Anm. Shincron Co. Ltd., Yokohama-shi, JP. Erf.: Murata, Takanori, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Jiang, Yousong, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Shiono, Ichiro, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Honda, Hiromitsu, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Nagae, Ekishu, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP.

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