TU Ilmenau entwickelt Verfahren zur Produktion im Nanometerbereich

An der Technischen Universität Ilmenau startet das neue Graduiertenkolleg 3D-Nanofabrikation, in dem Wissenschaftler Verfahren zur Produktion im Nanometerbereich entwickeln werden. In dem Graduiertenkolleg, das die Deutsche Forschungsgemeinschaft mit 5,7 Millionen Euro für viereinhalb Jahre fördert, wird hochspezialisierte Spitzenforschung betrieben und 13 jungen Wissenschaftlern die Möglichkeit gegeben, den Doktorgrad zu erlangen.

Da die zunehmende Verkleinerung von Bauelementen auf Größen bis zu unter 10 Nanometern die Produktion vor immer größere Schwierigkeiten stellt, wird das Graduiertenkolleg Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab) innovative Fertigungsverfahren im Nanometerbereich für großflächige zwei- und dreidimensionale Strukturen entwickeln. Solche Arbeiten erfolgen an Nanopositionier- und Nanomessmaschinen größter Präzision. Unter Einsatz von spitzen- und laserbasierten Techniken werden die Wissenschaftler um den Sprecher des Graduiertenkollegs, Professor Eberhard Manske, alternative Lithographieverfahren erarbeiten, mit denen zum Beispiel Präzisionsoptiken mit neuen, bislang nicht möglichen optischen Eigenschaften gefertigt werden können. Ebenso wird die Herstellung ultrakleiner Bauelemente für elektronische Geräte bis in den Nanometerbereich erforscht. Dadurch finden auf einem Mikrochip immer mehr Transistoren Platz, die zum Beispiel Smartphones, Tablets und PCs hohe Rechenleistungen ermöglichen. 

Der Sprecher des Graduiertenkollegs NanoFab, Prof. Eberhard Manske / Bildquelle: TU Ilmenau/Christian Meyer

Das Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen bietet mit seiner weltweit einzigartigen wissenschaftlich-technischen Ausstattung die besten Voraussetzungen dafür.“ Fünf Nanopositionier- und Nanomessmaschinen werden an der TU Ilmenau nun auch die Forschung auf dem Gebiet der Nanofabrikation vorantreiben.

Die Eröffnung des Graduiertenkollegs NanoFab (mit wissenschaftlichen Präsentationen) findet am 24. Mai 2017 in der TU im Humboldtbau statt.

http://www.tu-ilmenau.de