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Einsatz des Laser- und Diffusionsschweißens zur Herstellung mikroverfahrenstechnischer Apparate
Für den Aufbau von mikrotechnischen Apparaten werden unter anderem strukturierte Bleche verwendet. Diese können durch den Einsatz des Laser- und Diffusionsschweißens verbunden werden. Beim Diffusionsschweißen werden derartige Strukturen in der Regel gestappelt und im Hochvakuum bis auf Temperaturen unterhalb des Schmelzpunktes aufgeheizt. Ein weiteres Verfahren ist das Laserschweißen, bei dem mittels Lichtleiter hohe Energien auf kleine Flächen fokusiert werden und somit hohe Schweißgeschwindigkeiten erreichbar sind. Kriterien für die Schweißqualität sind beispielsweise Gasdichtheit oder die Erhaltung der Geometrien der Teile.
WOMag 09/2015 Gietzelt, Th.; Eichhorn, L.; Wunsch, V.; Toth, V.; Hüll, A.
Use of Lasers and Diffusion Welding to form Microtechnical Equipment
In the construction of microtechnical devices, patterned sheets of metal are often used. These can be bonded together using laser technology and diffusion welding. In the latter case, the structured metal sheets are usually stacked and, under high vacuum, heated to a temperature just below the melting point. An alternative process is laser welding. In this case, using a light pipe, high energy densities are focused on a small area, thus ensuring very rapid welding. Criteria used to assess weld quality include tests for gas tightness or ensuring that welded assemblies maintain their geometry.
