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Vakuumbeschichtung - some like it cold; Teil 1: Industrielles Anlagenkonzept zur Raumtemperaturbeschichtung
Vor allem der Wunsch zur Beschichtung von Kunststoffen, aber auch von wärmempfindlichen Metalllegierungen, hat die Entwicklung einer speziellen Vakuumbeschichtungstechnik beeinflusst. Durch Kombination der Laserverdampfung mit einer Magnetronzerstäubung ist es möglich, eine Vakuumbeschichtung bei Raumtemperatur durchzuführen, bei der die Beschichtungsraten mit 100 nm/min im Bereich der Hochratebeschichtung liegen. Zudem erzielt man dabei Haftungswerte, die bisher nur mit Beschichtungen bei 200 bis 400 °C erzielbar waren. Ein weiterer Vorteil ist die gleichmäßige Abarbeitung der rotierenden Targets, wodurch sich bei teureren Targetwerkstoffen eine gute Effizienz ergibt.
Galvanotechnik, 96 (2005)8, S. 1934-1939, 5 Abb., 26 Lit.-Hinw. Lackner, J. M.; Waldhauser, W.
Vacuum Coating - Some Like it Cold; Part 1: Concepts for Industrial-Scale Room Temperature Coating
A special type of vacuum coating has been developed, mainly to allow the coating of plastics but also for use with temperature-sensitive metal alloys. Using a combination of laser evaporation and magnetron sputtering, it is possible to carry out vacuum coating at room temperature with deposition rates of 100 nm/min, a value that quali?es for the designation of high-speed coating. In addition, this process achieves values of adhesion to substrate hitherto only obtained when operating at 200 to 400 ºC. A further benefit is the uniform loss of metal from the rotating targets thereby making best possible use of expensive target materials.
