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Universelle Fixierung von Shim-Formeinsätzen für die Mikro- und Nanoreplikation auf Basis von Polymerfolien
Die Fixierung von Shim-Formeinsätzen durch eine Polyamidfolie erleichtert die Replikation von großflächigen Mikrostrukturen und verbessert die Strukturqualität erheblichen. Die Fixierung ist bis zu Umformtemperaturen von 240 °C einsetzbar. Die stoffschlüssige Verbindung verhindert dabei eine Schädigung der Shim-Formeinsätze durch die beim Replikationsprozess wirkenden Zug- und Druckbelastungen. Das Aufkleben der Shim-Formeinsätze wird automatisiert und reproduzierbar durch die Heißprägeanlage durchgeführt, wodurch sich die Strukturseite planparallel zum Maschinentisch und der Substratplatte ausrichtet. Durch die Klebeschicht werden darüber hinaus Aufwerfungen und Dickenschwankungen der Formeinsätze ausgeglichen.
Galvanotechnik, 101 (2010)7, S. 1646-1653, 13 Abb., 2 Tab., 8 Lit.-Hinw. Röhrig, M.; Heilig, M.; Schneider, M.; Kolew, A.; Kaiser, K.; Guttmann, M.
Universal Fixing of Shim-Form Inserts for Nano- and Micro-Replication Using Polymer Films
Fixing shim-form inserts by means of a polyamide plastic film simplifies the replication of large area microstructured surfaces as well as significantly improving the fidelity of the replication process. The technique can be used at deformation temperatures of up to 240 °C. The method thus avoids damage to the shim-forming inserts resulting from tensile or compressive action. Adhesion of the shim form inserts, executed by a hot-pressing action, is automated and reproducible with the patterned side parallel to the machine table and the substrate sheet. Thanks to the adhesive film, a leveling action minimizes protrusions and local variations of thickness.
Galvanotechnik, 101 (2010)7, S. 1646-1653, 13 Abb., 2 Tab., 8 Lit.-Hinw. Röhrig, M.; Heilig, M.; Schneider, M.; Kolew, A.; Kaiser, K.; Guttmann, M.
Fähigkeiten
5,00Formgebung