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Mikrostrukturierung von Glas
Der Umgang mit dem mechanischen Verhalten von Glas für den Einsatz in der Mikro- und Nanosystemtechnik spielt eine wichtige Rolle. Grundsätzliche ist hierbei der Zusammenhang zwischen Mikrobearbeitung, Strukturgrößen und mechanischen Eigenschaften der Glasbauelemente zu beachten. Mit UV-empfindlichen Gläsern, die sich durch spezielle UV-Bestrahlung, thermische Behandlung und chemisches Ätzen mikrostrukturieren lassen, ist es möglich, Oberflächen definierter Rauheit und chemischer Eigenschaften zu erzeugen. Unter Nutzung der Ähnlichkeitsgesetze lassen sich durch gleichzeitiges Fügen und Umformen aus Glasrohr(stab)bündeln mikro- und nanostrukturierte Glasbauteile mit unendlichem Aspektverhältnis herstellen. Eine gezielte Nachbehandlung gestattet eine Verbesserung der mechanischen Festigkeit.
Galvanotechnik, 98 (2007)10, S. 2516-2520, 9 Abb., 6 Lit.-Hinw. Hülsenberg, D.; Brokmann, U.; Hesse, A.; Ludwig, Y.; Mrotzek, S.
Micro-patterning of Glass
When using glass in micro- or nanosystem-technologies, its mechanical behaviour plays a key role. Basically, this involves the relationship between micro-processing of the glass, the scale of structures required and the mechanical properties of the glass-based assembly. Using UV-sensitive glasses, one can micro-pattern the surface using special UV radiation, thermal treatment and chemical etching. Using rules derived by analogy, one can use bundles of glass tubes or rods, to pattern and form micro- and nano-structured glass components with infinite aspect ratios. Use of suitable post-treatment results in improved mechanical strength.
