Mikrobauteile und -systeme können heute sowohl in Kunststoff, Metall oder auch in Keramik hergestellt werden. Die Auswahl des Werkstoffen ergibt sich einerseits durch die Anforderungen in Bezug auf Korrosion, Verschleiß oder Temperatur, andererseits aus den zu fertigenden Stückzahlen. Für große Stückzahlen bietet sich die Abfertigung in Kunststoff durch Mikroheißprägen, -spritzgießen oder -thermoumformen an. Bei hohen Anforderungen z.B. in Bezug auf Temperatur oder Verschleiß eignen sich die Herstellung metallischer Mikroteile durch Galvanoformung, Gießen oder Pulverspritzgießen. Teile aus Keramik besitzen in der Regel die höchsten Beständigkeiten bei Temperaturbelastung; als Herstellungsverfahren stehen verschiedene Pulverspritzverfahren oder das Reaktionsgießen zur Auswahl.
Micro-components and systems are today routinely manufactured using plastics, metals or ceramics. The choice of material is usually determined by the service duty, in terms of corrosion, wear or temperature extremes to which the system will be exposed. In other cases, the length of a production run becomes an issue. For large runs, micro-hot-pressing, micro-moulding, injection moulding or thermoforming of plastics is the preferred option. Where more demanding conditions obtain, such as higher temperatures or wear, metallic components manufactured by electroforming, casting or powder injection moulding may be used. In most cases, the best hightemperature performance is provided by ceramics and for this, powder spraying or reactive casting are the preferred routes.
