Fortschritte bei Fertigungsprozessen mit Photolitographie - Ein Überblick über weltweite Entwicklungen
Bauteile lassen sich mit Hilfe der Photolitographie strukturieren. Dabei wird mit einem Photolack die Oberfläche definiert abgedeckt und nachfolgend durch Ätzen oder Auftragen von Metall eine Struktur auf der Oberfläche erzeugt. Die Auswahl des Verfahrens hat einen hohen Einfluss auf das Aspektverhältnis der Strukturen. Zudem ändert sich die Technik der Belichtungsart mit abnehmenden Abmessungen der aufzubringenden Strukturen.
Galvanotechnik, 100 (2009)6, S. 1426-1430, 7 Abb., 5 Lit.-Hinw. Allen, D.
Advances in manufacturing processes involving photolitography - a review of recent developments worldwide
Components can be manufactured using photolithography. The surface is selectively coated with photoresist and a structure then formed on the surface by etching and/or metal deposition. The choice of process has a significant effect on the aspect ratio of the structure formed. In addition, the method of illumination used becomes more critical as the dimensions of the structure to be formed, decrease.
Galvanotechnik, 100 (2009)6, S. 1426-1430, 7 Abb., 5 Lit.-Hinw. Allen, D.
