Diamantschichten

30.07.2018

Im Gegensatz zu den DLC-Schichten, bei denen Kohlenstoff in amorpher Form vorliegt, weisen Diamantschichten das kristalline Gitter von Diamant auf. Sie werden durch CVD-Verfahren abgeschieden. Sie zeichnen sich insbesondere durch ihre extreme Härte aus, die ca. fünfmal so hoch liegt wie bei DLC-Schichten oder keramischen Hartstoffschichten. Weitere genutzte Eigenschaften sind niedrige Reibbeiwerte, gute Antihaftwirkung, sehr hohe chemische Beständigkeit, extrem hohe Wärmeleitfähigkeit sowie – in bestimmten Ausführungsformen – sehr hohe optische Transparenz für viele Wellenlängen. Das Material kann nicht nur als Dünnschicht abgeschieden werden sondern auch als sogenanntes Dickschichtmaterial, also als vom Substrat abgelöste Platte mit Dicken bis zu einem halben Millimeter. In der Elektronik können Diamantschichten zur Wärmeabfuhr von elektronischen Schaltkreisen eingesetzt werden.

Dr.-Ing. Jan Gäbler / Fraunhofer IST