Verfahren zur Bildung einer Dünnschicht und Vorrichtung zur Bildung einer Dünnschicht

WP 60 2012 017 929.5 - C23C 14/35. AT 20.09.2012; OT 28.03.2013; PT 27.04.2016. Anm.: Shibaura Institute of Technology, Tokyo, JP. Erf.: Aizawa, Tatsuhiko, Tokyo 1358548, JP Morita, Hiroshi, Tokyo 1440045, JP Kurosumi, Shuichi, Tokyo 1358548, JP