Polierkissen mit Rillen zum Halten einer Aufschlämmung auf der Kissentextur
Ein chemisch-mechanisches Rotationspolierkissen, das zur Verwendung mit einem Poliermedium gestaltet ist. Das Polierkissen umfasst eine Polierschicht, die eine Polieroberfläche aufweist, die eine Mehrzahl von Rillen enthält. Mindestens ein Abschnitt jeder der Vielzahl von Rillen weist eine Form und eine Ausrichtung auf, die als Funktion der Trajektorie des Poliermediums während der Verwendung des Kissens festgelegt sind.
PS 10 2008 004 874.7 - B24b 37/26. AT 17.01.2008; OT 14.08.2008; PT 10.03.2016. Anm.: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings, Inc., Newark, Del., US. Erf.: Muldowney, Gregory P., Earleville, Md., US.