Vorrichtung zum Beschichten überlanger flächenhafter Substrate, insbesondere Glasscheiben, in einer Vakuum-Beschichtungsanlage

GM 20 2015 007 404.9 - C23C 14/56. AT 26.10.2015; ET 11.11.2015; PT 17.12.2015. Anm.: Grenzebach Maschinenbau GmbH, 86663 Asbach-Bäumenheim, DE

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