Polierkissen und Herstellungsverfahren desselben

EP 60 2004 046 809.6 – B24B 37/24. AT 14.04.2004; OT 20.10.2004; PT 18.03.2015. Anm.: JSR CORPORATION, Tokio/Tokyo, JP. Erf.: Sakurai, Fujio, Tokyo 104-0045, JP, Mihara, Iwao, Tokyo 104-0045, JP, Hasegawa, Kou, Tokyo 104-0045,, JP, Igarashi, Yoshinori, Tokyo 104-0045, JP.