Gerät zur Kontrolle des Polierzustandes, Poliergerät und Polierverfahren

WP 603 44 741.4 – B24B 49/12. AT 15.10.2003; OT 18.08.2005; PT 14.08.2013. Anm.: Ebara Corporation, Tokio/Tokyo, JP; Shimadzu Corp., Kyoto, JP. Erf.: Nakai, Shunsuke c/o Ebara Corporation, Ohta-ku, Tokyo 144-8510, JP, Tsuji, Hitoshi c/o Ebara Corporation, Ohta-ku, Tokyo 144-8510, JP, Ishimoto, Junki, Otsu-shi, Shiga 520-0105, JP, Kobayashi, Yoichi c/o Ebara Corporation, Ohta-ku, Tokyo 144-8510, JP, Shinya, Kazunari, Takatsuki-shi, Osaka 569-1042, JP, Tsukuda, Yasuo, Mishima-gun, Osaka 618-0012, JP