Heute zur Verfügung stehende refraktive Röntgenlinsen eignen sich besonders für Photonenenergien oberhalb von 15 keV, wo andere Röntgenoptiken bereits transparent werden. Bei Linsen, die mit dem LIGA-Verfahren oder durch anisotropes Tiefenätzen in Silizium gefertigt werden, brauchen Einzellinsen nicht mehr positioniert zu werden, was die Fertigung vereinfacht. Es wurden Linsen mit Aperturen im Bereich einiger hundert Mikrometer mit Fokusdurchmessern unter 150 nm realisiert. Die derzeitigen Forschungsaktivitäten konzentrieren sich hauptsächlich auf weitere Prozessverbesserungen zur genaueren Einhaltung der Sollgeometrie der Linsen und auf Möglichkeiten, die Eintrittsapertur der Linsen zu vergrößern und die optischen Eigenschaften der Linsen zu verbessern.
Galvanotechnik, 100 (2009)1, S. 188-192, 8 Abb., 6 Lit.-Hinw. Last, A.; Nazmov, V.; Reznikova, E.; Saile, V.; Simon, M.; Umbach, M.
X-Ray Optics
Refractive X-ray lenses are specially suited to photon energies in excess of 15 KeV, where other X-ray optics become transparent. In the case of lenses produced by the LIGA electroforming process or by anisotropic deep etching, there is no requirement for individual lenses to be precisely positioned, which greatly simpli?es the manufacturing process. In this way, lenses with apertures of a few hundred microns and a focal diameter less than 150 nm can be formed. Research at present is mainly concerned with process improvements allowing closer tolerances to speci?ed dimensions to be maintained, and also to increasing the entry aperture of these lenses, while improving their optical properties.
Galvanotechnik, 100 (2009)1, S. 188-192, 8 Abb., 6 Lit.-Hinw. Last, A.; Nazmov, V.; Reznikova, E.; Saile, V.; Simon, M.; Umbach, M.
