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Praktische Oberflächenanalytik - Überblick über die Verfahren EDX, AES, XPS und SIMS
Für die Oberflächenanalytik stehen eine Reihe von Messmethoden zur Verfügung, die auf der Stimulation und der darauf folgende Emission von Teilchen beziehungsweise elektromagnetische Wellen beruhen. Je nach Fragestellung ist aus den Möglichkeiten das geeignete Verfahren auszuwählen. Dabei sind nicht nur die technischen Gütekriterien der Analyseverfahren wichtig, wie beispielsweise die Informationstiefe, das Au?ösungs- oder das Nachweisvermögen, sondern auch die deutlich unterschiedlichen Kosten der Methoden. Die Rolle der Ober?ächenanalytik im industriellen Umfeld wird zukünftig immer wichtiger werden, da die Anforderungen an die Oberflächenqualität kontinuierlich zunehmen. Neben den zunehmend dünner werdenden Schichten, die heute bereits in Bereichen unterhalb eines Nanometers liegen können, kommen vermehrt biologische Fragestellungen hinzu, die den Einsatz ausgefeilter Analysemethoden mit höchster Ober?ächensensitivität unverzichtbar machen.
Galvanotechnik; 102 (2011)12, S. 2638-2646, 14 Abb., 3 Tab., 8 Lit.-Hinw. Wohlschlögel, T.; Eng, M.; Kaloudis, M.
Practical Surface Analysis - an Overview of EDX, AES, XPS and SIMS Techniques
A range of instrumental techniques is available for surface analysis, mainly involving surface excitation which causes emission of particles and/or electromagnetic waves. Depending on the nature of information being sought, one or more of these techniques is applicable. What has to be considered is not only the type of analysis in question but also probe depth below the surface, resolution and type of information provided as well as the very considerable difference in cost of these instruments. The role of surface analysis in the industrial setting continues to be more and more important, not least because of the increasing demands on surface quality. This is in addition to having to deal with ever thinner surface ?lms, often less than 1 nm. There are increasing biological questions which make essential the use of complex analysis techniques with the very highest sensitivity.
