Potential nanoskaliger Keramikpulver für die Mikrosystemtechnik
Nanoskalige Keramikpulver können aufgrund ihrer besonderen Eigenschaften in verschiedenen Bereichen der Mikrotechnik Verwendung ?nden. Die Auswahl des Herstellungsverfahrens richtet sich nach den erforderlichen Kennwerten der Keramikpulver; vorgestellt werden Gasphasensynthese und nasschemische Verfahren. In einem weiteren Schritt erfolgt eine Konditionierung bevor eine Dispergierung des Pulvers zur Vorbereitung des Arbeitsschrittes der Formgebung. Für die Formgebung haben sich bei Mikrobauteilen Verfahren wie die elektrophoretische Abscheidung, der Siebdruck oder das Mikrospritzgießen bewährt. Nanoskalige Keramikpulver eignen sich u.a. für die Herstellung von ferroelektrischen, hoch verschleißbeständigen oder in der Brechung angepassten Bauteilen.
Nano-size Ceramic Powders as Potential Materials for Micro-engineering Technology
The special properties of nano-sized ceramic powders lead to their use in several applications of micro-engineering. The choice of method for their production depends on the particular properties desired. Both gas-phase and aqueous-phase methods are considered. In a subsequent stage, the powders are conditioned, prior to their dispersion after which the forming process takes place. For manufacture of micro-components, electrophoretic deposition, screen-printing or micro-injection moulding have all been successfully used. Nano-sized ceramic powders are also a good starting material for manufacture of highly wear-resistant ferroelectric components or those requiring speci?c refraction properties.
