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Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Ober?ächen
Die Kombination aus lichtmikroskopischer Betrachtung und Beleuchtung unter einem sehr kleinen Winkel führt zu einer schnellen Methode zur Bestimmung der Kontamination von Oberflächen. Zu den Vorteilen dieser Methode gegenüber den bisher üblichen zählt unter anderem die kurze Messzeit durch die direkte Messung am Bauteil und die einfache Klassifizierbarkeit der Verunreinigungen. Des Weiteren sind sowohl Partikel aus Fremdmaterial als auch aus Substratmaterial ohne Aufwand bestimmbar. Die Methode eignet sich als Online-Verfahren zur Integration in bestehende Fertigungslinien.
Galvanotechnik, 99 (2008)2, S. 330-338, 15 Abb., 11 Lit.-Hinw. Grimme, R.; Schmauz, G.; Modrich, K.-U.
Methods and Equipment to Monitor Contamination on Technical Surfaces
Using optical microscopy in combination with very low angle illumination, a rapid method to determine contamination of surfaces was developed. Among the advantages, as compared with existing methods are the speed of measurement, thanks to direct measurement at the component surface as well as a means of classifying the nature of the contaminant species. Thus both particles of foreign material and those of the substrate material can be detected. The method is suited for on-line use in existing production lines.
