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Focused Ion Beam (FIB) - Anwendungen als Untersuchungsmethode in der Galvanotechnik
Die Focused Ion Beam-Technik (FIB) ermöglicht die zielgenaue Präparation von Mikro- und Nanostrukturen, sowie als Rasterionenmikroskop eingesetzt die Untersuchung sonst nur schwer darstellbarer Gefügestrukturen. In Verbindung mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie erlaubt die präzise Schnitttechnik des FIB die Darstellung von unter der Probenoberfläche liegenden kleinsten Details. Im Bereich der Galvanotechnik, wo es sich sehr häufig um die Untersuchung von Beschichtungen handelt, werden mit dieser Methode Abbildungen feinster Strukturen deutlich verbessert und oft erst ermöglicht. Die Grundlagen der Methode werden behandelt und Anwendungen aus der Galvanotechnik vorgestellt.
Galvanotechnik; 102 (2011)10, S. 2174-2181, 9 Abb., 7 Lit.-Hinw. Schulz, R.
Focused Ion Beam (FIB) - Applications as a Research Tool in Surface Finishing
The Focused Ion Beam technique allows precisely-planned preparation of micro- or nano-structures, while when used as a scanning ion microscope, allows a study of otherwise poorly accessible surface structures. In combination with high-resolution Scanning Electron Microscopy, the technique with its precise probing, enables a resolution of the smallest details below a sample surface. In the realm of Metal Finishing, where the study of surface layers is often involved, the technique enables an improved capture of images of the most finely detailed structures, in some cases previously inaccessible. The principles of the method are explained and some applications in metal deposition presented.
