Fertigung von 3D-Mikroteilen ohne Form - Herstellung von Mikroteilen durch Spritzguss
In vielen Technikbereichen sind strukturierte Teile mit unregelmäßigen Pro?len in hoher Qualität gefragt. Mit einer neuen Technologie können hochpräzise und -qualitative Siliziumformen zur Herstellung von Spritzgussteilen gefertigt werden. Während mit der eingeführten LIGA-Technik vorzugsweise vertikale Strukturen erzeugt werden können, lassen sich mit dem neuen Verfahren unter Einsatz eine speziellen Mikroätztechnik Formen in Silizium erzeugen. Durch Erzeugung kontrollierter Anisotropien werden mit einer speziellen Ätztechnik poröse Bereiche im Silizium erzeugt und daraus die erforderlichen Strukturen gewonnen. Neben der praktischen Durchführung des Verfahrens wurden auch Modelle zur Berechnung der Arbeitsparameter und digitalen Darstellung der Ergebnisse entwickelt.
Galvanotechnik, 97 (2006)2, S. 442-447, 9 Abb., 10 Lit.-Hinw. Huster, R.; Kovacs, A.; Mescheder, U.
Finishing of Irregularly Shaped 3D Micro-Components - Their Manufacture by Injection Moulding
In many branches of technology, patterned components with irregular shapes, but of high quality, are demanded. Using a new technique, high-precision and high quality silicon moulds can be used for injection moulding. Whereas the now well-known LIGA process is mainly aimed at forming vertical structures, the new technique, using a special micro-etching method, allows silicon moulds to be manufactured. Making use of controlled anisotropy and using a specially-developed etching method, porous areas are formed in the silicon from which the desired geometry is created. In addition to developing the practical aspects of the new process, models have been devised allowing process parameters to be calculated with digitised representation of the results.
Galvanotechnik, 97 (2006)2, S. 442-447, 9 Abb., 10 Lit.-Hinw. Huster, R.; Kovacs, A.; Mescheder, U.
