Höhere Effizienz und Umweltfreundlichkeit von PVD-Verfahren

Oberflächen 07. 04. 2024
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Innovativer Durchbruch: fem zündet erstmals invertierten Fireball mittels Magnetron-Sputterquelle

Am fem Forschungsinstitut in Schwäbisch Gmünd wurde in Kooperation mit 4A-PLASMA und mit der Unterstützung durch Gruenwald Laboratories ein weltweit einmaliger Durchbruch erzielt: Die erfolgreiche Zündung eines invertierten Fireballs (IFB) mit einer Magnetron-Sputterquelle. Dieser Erfolg ist Teil des Projekts Anoden-Plasma ionisiertes Magnetron-Sputtern, kurz APiMS, unterstützt durch das Programm InvestBW des Ministeriums für Wirtschaft, Arbeit und Tourismus Baden-Württemberg.

Das Ziel der Forscher am Gmünder Forschungsinstitut: Härtere, dichtere Schichten mit exzellenter Haftfestigkeit durch Plasmadichten, die deutlich höher sind als beim konventionellen Magnetronsputtern. Die Anwendungsbereiche sind vielfältig: Von der Automobilindustrie über die Medizintechnik bis hin zur Luft- und Raumfahrt. Ein zusätzlicher Pluspunkt: Die Steigerung der Effizienz des Beschichtungsprozesses führt zu einer Reduzierung der elektrischen Leistung und somit zu einem kleineren CO2-Footprint.

Die Erzeugung des invertierten Fireballs erfordert Präzision und die perfekte Abstimmung unterschiedlicher Parameter. Dr. Martin Fenker und David Bäurer betonen die Bedeutung dieser Entdeckung: Es ist ein entscheidender Schritt vorwärts, sowohl in der technologischen Innovation als auch in der Effizienz und Umweltverträglichkeit des Verfahrens.

 

Über drei Jahrzehnte Erfahrung in PVD- und PACVD-Technologien ermöglichen dem fem, fortschrittliche Lösungen für Verschleiß-, Korrosionsschutz-, Funktionsschichten sowie biokompatible und dekorative Schichten zu entwickeln. Mit einer neuen Cluster-Anlage, die modernste Module zur Erzeugung und Analyse von Dünnschichten integriert, setzt das fem zukünftig in einem weiteren Feld seine Pionierarbeit fort. Die Anlage wird ab 2025 eine Schlüsselrolle in der zukünftigen Forschung und Entwicklung des Instituts spielen, besonders im Bereich der Energietechnologie.

Text zum Titelbild: Invertierter Fireball in der neuen Cluster-Anlage am fem (Bilder: fem)

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