Herstellung von Nanopartikeln

WP 60 2010 014 446.1 – C23C 14/22. AT 30.06.2010; OT 23.12.2010; PT 19.03.2014. Anm.: Mantis Deposition Ltd., Thame, GB. Erf.: Allers, Lars, Chinnor Oxfordshire OX39 4D, GB, Wynne-Powell, Thomas Matthew, Oxford OX4 3PB, GB, Kean, Alistair, Watlington Oxfordshire OX49 5LX, GB.