Verfahren zur Bereitstellung von Resisthaftung auf einer Kupfer- oder Kupferlegierungsoberfläche
WP 60 2012 028 276.2 - C23C 22/52. AT 29.06.2012; OT 10.01.2013; PT 01.02.2017. Anm.: Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin, DE. Erf.: Hülsmann, Thomas, 14167 Berlin, DE Clicque, Arno, 13435 Berlin, DE Tews, Dirk, 10318 Berlin, DE Kloppisch, Mirko, 10245 Berlin, DE Liong, Andry, Guangzhou 5106660, CN