Verfahren zur Abscheidung von CIS-, CIGS- oder CIGSSe-Schichten und Verwendung eines Drahtes zur Herstellung dieser Schichten
Beschreibung: Es wird eine Vorrichtung zum Abscheiden von aus CIS-, CIGS- oder CIGSSe-Schichten mit einer Anzahl beheizbarer Verdampferschiffchen vorgestellt, wobei die Vorrichtung eine Einrichtung zur Zuführung von Draht aus verdampfbarem Material zu den Verdampferschiffchen aufweist. Der Draht besteht aus einem oder mehreren Bestandteilen und ein oder mehrere Bestandteile des Drahtes, die einzelnen oder allen Bestandteilen der Schicht entsprechen, sind entweder sequenziell und/oder gleichzeitig auf dem Substrat abscheidbar. Ferner wird ein Verfahren zum Abscheiden von CIS-, CIGS- oder CIGSSe-Schichten vorgestellt.
PS 10 2009 009 992.1 – C23C 14/06. AT 23.02.2009; OT 09.09.2010; PT 29.08.2013. Anm.: Leybold Optics GmbH, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Heydenreich, Uwe, 01189 Dresden, DE, Winkler, Torsten, 01454 Radeberg, DE, Küper, Stephan, 61352 Bad Homburg, DE.