Systeme und Verfahren zum Mechanischen und/oder chemisch-mechanischen Polieren von Werkstücken mit Mikromerkmalen
WP 60 2004 041 587.1 – B24B 1/00. AT 26.04.2004; OT 11.05.2006; PT 03.04.2013. Anm.: Micron Technology, Inc., Boise, US. Erf.: Elledge, Jason B., Eagle, Idaho 83616, US.