Verfahren zur Vakuumabscheidung von organischem Material und Vorrichtung dafür

WP 60 2006 042 950.9 – C23C 14/24. AT 18.08.2006; OT 01.03.2007; PT 03.09.2014. Anm.: Canon Tokki Corp., Tokyo, JP. Erf.: Abe, Yoshiko, Mitsuke-shi, Niigata;9540076, JP, Yanagi, Yuji, Hiroshima-shi, Hiroshima 7330851, JP, Matsumoto, Eiichi, Mitsuke-shi, Niigata; 9540076, JP.

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