Mikrobereichsanalyse - Instrumentelle Leistungsparameter zur Spezifizierung und Überprüfung engergiedispersiver Röntgenspektrometer für die Anwendung in der Elektronenstrahl-Mikrobereichsanalyse (ISO 15632:2012); Text Deutsch und Englisch
Microbeam analysis - Instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis (ISO 15632:2012); Text in German and English
Einführungsbeitrag: Dieser Norm-Entwurf definiert die wichtigsten Mengen, die ein energiedispersives Röntgenspektrometer bestehend aus einem Halbleiter-Detektor, einem Vorverstärker und einer signalverarbeitenden Einheit als wichtigste Bestandteile charakterisieren. Dieser Norm-Entwurf gilt nur für Spektrometer mit Halbleiterdetektoren, die mit dem Prinzip der Festkörperionisierung arbeiten. Dieser Norm-Entwurf legt Mindestanforderungen fest und wie relevante instrumentelle Leistungsparameter bei solchen Spektrometern, die an ein Rasterelektronenmikroskop (REM) oder ein Elektronensondenmikroanalysengerät (EPMA) angebracht sind, überprüft werden müssen. Das für die eigentliche Analyse verwendete Verfahren ist in ISO 22309 und ASTM E15108 beschrieben. Der Norm-Entwurf wendet sich an Hersteller und Anwender von energiedispersen Röntgenspektrometern. Das zuständige deutsche Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).